24小時(shí)服務(wù)熱線電話
0373-8727999
menu
您當(dāng)前所在的位置:首頁 > 新聞資訊 > 行業(yè)資訊

半導(dǎo)體無塵車間凈化工程技術(shù)方案及**難點(diǎn)處理

[ 時(shí)間:2019-04-17 閱讀:2187次 ]

  做任何行業(yè)的無塵車間,首先就需要從該行業(yè)的特征和難點(diǎn)出發(fā),進(jìn)行合理設(shè)計(jì)。半導(dǎo)體是一種導(dǎo)電性可受控制,范圍可從絕緣體至導(dǎo)體之間的材料。半導(dǎo)體的分類,按照其制造技術(shù)可以分為:集成電路組件,分立器件、光電半導(dǎo)體、邏輯IC、模擬IC、儲(chǔ)存器等。日常生活中,我們比較常見的是集成電路和光電半導(dǎo)體。

  半導(dǎo)體組件體積小,對(duì)精度要求高,單位通常以微米計(jì)算,半導(dǎo)體無塵車間有面積大、潔凈等級(jí)高、溫濕度控制精度高等特點(diǎn)。微塵顆粒沾附在半導(dǎo)體組件上,便很容易造成短路或斷路的嚴(yán)重后果,因此要求所有半導(dǎo)體制程設(shè)備都必須安置在安全無塵的密閉空間中。半導(dǎo)體無塵車間建立的目的是為了過濾循環(huán)空氣建議無塵環(huán)境,調(diào)節(jié)空氣建立恒溫恒濕環(huán)境,建立正壓環(huán)境避免外氣污染。

  半導(dǎo)體無塵車間潔凈室與各系統(tǒng)關(guān)系如下:

  無塵車間參數(shù)

  1.壓差:主車間對(duì)相鄰房間≥5Pa;

  2.平均風(fēng)速:100級(jí)0.3-0.5m/s;

  3.噪聲≤65dB(A);

  4.新風(fēng)補(bǔ)充量是總送風(fēng)量的10%-30%;

  5.照度300LX。

  6.溫度:20-26度,(車間),溫度:12-23度(用于產(chǎn)品測(cè)試)

  7.濕度:50-70%RH,(車間),濕度40-85%RH(用于產(chǎn)品測(cè)試)

  8.凈化等級(jí):100級(jí)-30萬級(jí)(用于測(cè)試),1000-30萬級(jí)用于生產(chǎn)。

  半導(dǎo)體制造對(duì)無塵車間工程環(huán)境的控制有較為嚴(yán)格的要求,F(xiàn)FU循環(huán)系統(tǒng)不僅節(jié)省運(yùn)行空間、潔凈度安全性高、運(yùn)行成本低,而且操作靈活性很高,可以在不影響生產(chǎn)的情況下隨時(shí)進(jìn)行系統(tǒng)升級(jí)和調(diào)整,這些都能很好地滿足半導(dǎo)體制造的需求,因此在半導(dǎo)體制造業(yè)FFU循環(huán)系統(tǒng)逐漸成為***主要的無塵車間工程設(shè)計(jì)方案。

  ESD也是半導(dǎo)體制造環(huán)境控制的重要內(nèi)容,靜電釋放可能對(duì)產(chǎn)品和生產(chǎn)設(shè)備造成損害,還可能引起硅片表面塵粒吸附,影響產(chǎn)品的良率。

  半導(dǎo)體無塵車間設(shè)計(jì)及運(yùn)行注意事項(xiàng):

  1.半導(dǎo)體潔凈無塵車間內(nèi)部要確保粉塵只出不進(jìn),因此潔凈無塵車間室內(nèi)要保持大于大氣壓的環(huán)境。這就需要用大型鼓風(fēng)機(jī)將經(jīng)凈化設(shè)備的空氣源源不絕地打入潔凈車間

  2.為保持恒溫與恒濕,大型空調(diào)設(shè)備須搭配前述之鼓風(fēng)加壓系統(tǒng)使用。鼓風(fēng)機(jī)加壓多久,空調(diào)就得開多久。

  3.所有經(jīng)凈化設(shè)備的空氣流動(dòng)方向均由上往下為主,因此,潔凈無塵車間室內(nèi)空間設(shè)計(jì)或機(jī)臺(tái)擺放應(yīng)避免突兀,使塵埃細(xì)菌等在潔凈無塵車間內(nèi)回旋停滯的機(jī)會(huì)與時(shí)間減至***低程度。

  4.半導(dǎo)體潔凈無塵車間所有用得到的氣源,包括吹干晶圓及機(jī)臺(tái)空壓所需要的,都得使用氮?dú)?98%),吹干晶圓的氮?dú)馍踔烈?9.8%以上的高純氮。

  在半導(dǎo)體無塵車間的建造過程中,除了廠房的主體結(jié)構(gòu)施工以及上述的**難點(diǎn)外,還有潔凈建筑裝飾施工、凈化空調(diào)系統(tǒng)及其風(fēng)管、過濾器的施工安裝、高純水系統(tǒng)及其管線的安裝、高純氣體系統(tǒng)(含特種氣體供應(yīng)等)及其管線安裝、真空系統(tǒng)及其管線的安裝、化學(xué)品供應(yīng)系統(tǒng)及其管線的安裝、各種排風(fēng)和排氣系統(tǒng)及其處理設(shè)備的安裝、消防安全報(bào)警系統(tǒng)及其控制設(shè)備的安裝、變配電、電氣系統(tǒng)及其橋架、配管配線的安裝、照明系統(tǒng)及燈具的安裝、防微振裝置的安裝、生產(chǎn)工藝設(shè)備及其配管配線的安裝等。

  


相關(guān)推薦 recommend
潔凈室想要達(dá)到等級(jí)標(biāo)準(zhǔn)?先滿足這四個(gè)要求
生產(chǎn)環(huán)境能在一定程度上對(duì)藥品產(chǎn)生影響。為保證藥品安全,當(dāng)前,藥企對(duì)藥品生產(chǎn)的環(huán)境要求越來越高。潔凈室作為控制污染的基礎(chǔ),能夠?qū)⒁欢臻g范圍內(nèi)的空氣中的微粒子、有害空氣、細(xì)菌等污染物排除,并將室內(nèi)的溫度、潔凈度、室內(nèi)壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動(dòng)及照明、靜電控制在某一需求范圍內(nèi)。不過,潔凈室要獲得良好的潔凈效果,不僅要采取合理的空調(diào)凈化措施,還要有規(guī)范的設(shè)計(jì),以及對(duì)其進(jìn)行正確使用且科學(xué)的維護(hù)管理。潔凈程度和控制污染的持續(xù)穩(wěn)定性,是檢驗(yàn)潔凈室質(zhì)量的核心標(biāo)準(zhǔn)。該標(biāo)準(zhǔn)將根據(jù)區(qū)域環(huán)境、凈化程度等因素,分為若干等級(jí),常用的有國際標(biāo)準(zhǔn)和國內(nèi)區(qū)域行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)。為滿足等級(jí)標(biāo)準(zhǔn),潔凈室應(yīng)具備以下四個(gè)要求。一送風(fēng)潔凈度首先是送風(fēng)潔凈度。在送風(fēng)潔凈度方面,要想達(dá)到要求,關(guān)鍵是凈化系統(tǒng)末級(jí)過濾器的性能和安裝。而凈化系統(tǒng)末級(jí)過濾器一般采用高效過濾器或亞高效過濾器。因此,應(yīng)從潔凈度要求考慮,以低級(jí)別潔凈室選用低性能過濾器、***別潔凈室選用高性能過濾器為原則。不過,要選擇好過濾器還要全面考慮潔凈室的特性、過濾器特性和凈化系統(tǒng)特性。要保證送風(fēng)潔凈度,僅有合格的過濾器是不夠的,還要保證運(yùn)輸、安裝過程中不損壞過濾器,確保安裝嚴(yán)密。二氣流組織其次是氣流組織。潔凈室的氣流組織與一般空調(diào)房間有所不同,它要求將***干凈的空氣首先送到操作部位,它的作用在于***和減少對(duì)加工物的污染。為此,在設(shè)計(jì)氣流組織時(shí)應(yīng)考慮以下幾個(gè)原則。首先,盡量減少渦流,避免將工作區(qū)以外的污染帶入工作區(qū);其次,盡量防止灰塵的二次飛揚(yáng)以減少灰塵對(duì)工件的污染機(jī)會(huì);***后,工作區(qū)的氣流要盡量均勻,且其風(fēng)速要滿足工藝和衛(wèi)生要求,當(dāng)氣流向回風(fēng)口流動(dòng)時(shí)要使空氣中的灰塵能有效的帶走。根據(jù)不同的潔凈度要求,選擇不同的送、回風(fēng)方式。三送風(fēng)量/風(fēng)速然后是送風(fēng)量或風(fēng)速。足夠的通風(fēng)換氣量是為了稀釋和排除室內(nèi)污染空氣。根據(jù)不同的潔凈度要求,當(dāng)潔凈室凈高較高時(shí),可適當(dāng)增加換氣次數(shù)。其中,100萬級(jí)潔凈室的通風(fēng)量按高中效凈化系統(tǒng)考慮,其余均按高效凈化系統(tǒng)考慮。當(dāng)10萬級(jí)潔凈室高效過濾器集中布置在機(jī)房或系統(tǒng)末端采用亞高效過濾器時(shí),可適當(dāng)提高換氣次數(shù)10-20%。四靜壓差***后是靜壓差。潔凈室維持一定的正壓是保證其不受或少受污染、以維持設(shè)計(jì)潔凈度等級(jí)必不可少的條件之一。即便是負(fù)壓潔凈室,也必須有不低于它潔凈度級(jí)別地相鄰房間或套間維持一定地正壓,負(fù)壓潔凈室的潔凈度才能得以維持。據(jù)悉,維持潔凈室正壓所需的風(fēng)量主要根據(jù)維護(hù)結(jié)構(gòu)密閉性好壞來確定。我國設(shè)計(jì)規(guī)范規(guī)定:不同等級(jí)的潔凈室以及潔凈區(qū)和非潔凈區(qū)之間的靜壓差應(yīng)不小于0.5mmH2O(~5Pa),潔凈區(qū)與室外的靜壓差應(yīng)不小于1.OmmH20(~l0Pa)。除了滿足等級(jí)標(biāo)準(zhǔn),在使用潔凈室時(shí)還要注意以下幾點(diǎn)。操作人員應(yīng)具備衣著規(guī)范標(biāo)準(zhǔn),滿足衛(wèi)生要求;要定期進(jìn)行清洗與消防工作;要定時(shí)替換消毒劑,以防微生物產(chǎn)生抗藥性;要保證安全門必須隨時(shí)能夠敞開,安全通道中禁絕堆積雜物,安全防火設(shè)備也應(yīng)常常查看。保持良好的操作習(xí)慣和維護(hù)習(xí)慣才能讓潔凈室將作用和效果發(fā)揮到***好。
食品廠凈化車間無塵車間裝修要求和標(biāo)準(zhǔn)
“病從口入”,食品的衛(wèi)生直接影響著人們的健康。無論是食品廠的加工車間和包裝車間,都有很高的衛(wèi)生標(biāo)準(zhǔn)和要求。其中,微生物污染是影響食品質(zhì)量***重要的因素,也是食品廠包裝車間和加工處理車間的凈化工程中的**。食品的安全、衛(wèi)生主要要控制三個(gè)方面:一是控制生產(chǎn)人員的規(guī)范化操作;二是控制外部環(huán)境污染(要建立相對(duì)較有潔凈度的操作空間。三是采購源頭杜絕有問題產(chǎn)品原料。食品日化凈化車間主要廠房配套設(shè)施:1Class1K、10K、100K級(jí)無塵室;2干燥、粉碎、殺菌清洗、包裝等生產(chǎn)設(shè)備;3壓縮空氣、排氣、純水等設(shè)施。保障食品的標(biāo)準(zhǔn)質(zhì)量,關(guān)鍵需要建設(shè)好良好衛(wèi)生生產(chǎn)環(huán)境。針對(duì)食品危險(xiǎn)的過程控制體系,通過對(duì)食品生產(chǎn)全過程進(jìn)行危害分析、污染控制、關(guān)鍵點(diǎn)控制而營造的負(fù)荷食品衛(wèi)生條件的生產(chǎn)環(huán)境。建設(shè)食品凈化車間良好衛(wèi)生生產(chǎn)環(huán)境主要從關(guān)鍵控制區(qū)域、背景區(qū)域、食品接觸面、人身凈化用室、物料凈化用室五個(gè)方面出發(fā)。關(guān)鍵控制區(qū)域,食品加工過程中潔凈用房?jī)?nèi)的一個(gè)區(qū)域,若該區(qū)域控制不當(dāng),極可能造成危害,非常容易導(dǎo)致成品污染。背景區(qū)域,同一潔凈用房?jī)?nèi)關(guān)鍵控制區(qū)域周邊的區(qū)域。食品接觸面,接觸食品的那些表面以及精彩在正常加工過程中會(huì)將污水滴濺在食品或?yàn)R在接觸食品的那些表面上的表面。人身凈化用室,人員在進(jìn)入潔凈區(qū)之前按一定程序進(jìn)行凈化的房間。物料凈化用室,物料在進(jìn)入潔凈區(qū)之前按一定程序進(jìn)行凈化的房間。食品廠潔凈廠房應(yīng)根據(jù)食品生產(chǎn)對(duì)除菌除塵和衛(wèi)生要求進(jìn)行分級(jí)。食品無塵車間應(yīng)明確其中生產(chǎn)的關(guān)鍵控制點(diǎn)、關(guān)鍵區(qū)域和背景區(qū)域,并應(yīng)分別定級(jí),并應(yīng)盡量縮小***別區(qū)域的面積。食品廠凈化車間用房等級(jí)分級(jí)和環(huán)境參數(shù)標(biāo)準(zhǔn)與要求食品廠潔凈用房等級(jí)。食品的生產(chǎn)應(yīng)根據(jù)不同生產(chǎn)階段、不同關(guān)鍵控制點(diǎn)或食品本身的屬性在對(duì)應(yīng)等級(jí)的潔凈區(qū)域內(nèi)進(jìn)行。當(dāng)生產(chǎn)工藝對(duì)溫度和濕度無特殊要求時(shí),Ⅰ級(jí)、Ⅱ級(jí)潔凈用房溫度應(yīng)為20℃—25℃,相對(duì)濕度應(yīng)為30℃-65℃,Ⅲ級(jí)、Ⅳ級(jí)潔凈用房溫度應(yīng)為18℃—26℃,相對(duì)濕度應(yīng)為30%—70%。Ⅰ級(jí)潔凈用房的噪聲級(jí)(靜態(tài))不應(yīng)大于65dB(A),其他潔凈用房噪聲級(jí)(靜態(tài))不應(yīng)大于60dB(A)。生產(chǎn)車間按生產(chǎn)工藝和產(chǎn)品質(zhì)量要求,分為一般生產(chǎn)區(qū)、控制區(qū),設(shè)人員換鞋區(qū)、男女一、二次***室、洗手、手消毒、洗衣間、風(fēng)淋通道、潔凈人流走廊、物流貨淋走道、注塑間、膠墊吹塵、中儲(chǔ)庫、組裝間、內(nèi)包裝間、外包裝間及機(jī)房、物流等。人員流動(dòng)方向:換鞋、***、洗手、手消毒—風(fēng)淋通道—潔凈走廊—潔凈車間在凈化車間及走廊設(shè)安全門,便于人員疏散。不同等級(jí)潔凈用房靜態(tài)時(shí)換氣次數(shù)應(yīng)按人員數(shù)量、面積大小、操作強(qiáng)度等條件計(jì)算確定或者按照相應(yīng)標(biāo)準(zhǔn)選用。新風(fēng)量應(yīng)按每人不小于40m??3;/h設(shè)計(jì),應(yīng)滿足排風(fēng)和維持正壓的需要。潔凈用房靜態(tài)時(shí)換氣次數(shù)。面對(duì)激烈的市場(chǎng)競(jìng)爭(zhēng),公司全體員工一直秉承“以質(zhì)量求生存,以信譽(yù)求發(fā)展“的經(jīng)營理念,把“客戶滿意是評(píng)價(jià)我們工作的標(biāo)準(zhǔn)“作為服務(wù)宗旨;公司始終秉承“誠信、服務(wù)、創(chuàng)新、高效“的核心價(jià)值觀,從而使鴻洋明睿贏得了客戶的好評(píng)和信賴。歡迎新老客戶來電咨詢。
國家發(fā)布標(biāo)準(zhǔn) 凈化設(shè)備生產(chǎn)規(guī)范有章可循
2017年1月7日,國家衛(wèi)計(jì)委宣傳司司長(zhǎng)毛群安在召開的新聞發(fā)布會(huì)上表示,將加強(qiáng)對(duì)空氣凈化器、口罩等健康防護(hù)產(chǎn)品的標(biāo)準(zhǔn)、標(biāo)識(shí)的規(guī)范指導(dǎo),引導(dǎo)公眾正確消費(fèi)??諝鈨艋饔址Q能夠吸附、分解或轉(zhuǎn)化各種空氣污染物(一般包括PM2.5、粉塵、花粉、異味、甲醛之類的裝修污染、細(xì)菌、過敏原等),有效提高空氣清潔度的產(chǎn)品,主要應(yīng)用于家用、商用、工業(yè)、樓宇。在此之前,空氣凈化器生產(chǎn)質(zhì)量不合格的曝光率**。2016年10月20日,國家質(zhì)檢總局發(fā)布2016年空氣凈化器產(chǎn)品質(zhì)量國家監(jiān)督抽查結(jié)果。經(jīng)檢驗(yàn)顯示,有14家企業(yè)生產(chǎn)的15批次產(chǎn)品不合格,不合格產(chǎn)品檢出率為24.6%。其中,標(biāo)識(shí)不全、安全指標(biāo)未達(dá)標(biāo)等是主要問題。如漏電、耐壓擊穿、無二類標(biāo)識(shí)、觸及帶電部件等。秋冬季節(jié)霧霾對(duì)人體身體健康、工業(yè)生產(chǎn)車間潔凈度的影響極大,利用凈化器產(chǎn)品有利于改善小范圍內(nèi)的環(huán)境污染程度。而凈化器產(chǎn)品生產(chǎn)廠家如果缺乏相關(guān)的設(shè)備質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn),盲目生產(chǎn),市場(chǎng)不夠規(guī)范,則會(huì)給人們生產(chǎn)生活帶來不利的影響。本次空氣凈化器的標(biāo)準(zhǔn)出臺(tái),有利于規(guī)范凈化設(shè)備生產(chǎn)企業(yè)的工作。毛群安表示,從應(yīng)對(duì)霧霾的情況下,建議生產(chǎn)和管理部門對(duì)健康防護(hù)產(chǎn)品的標(biāo)識(shí)、標(biāo)準(zhǔn)、質(zhì)量進(jìn)行規(guī)范和監(jiān)管,不能誤導(dǎo)老百姓。毛利群表示,目前我國很多凈化器產(chǎn)品的標(biāo)識(shí)不清晰,比如用靜電方式凈化空氣,雖能達(dá)到凈化效果,但同時(shí)也會(huì)產(chǎn)生臭氧,若臭氧超過限值,同樣對(duì)人體有害。類似情況需要通過標(biāo)識(shí)明示,同時(shí)對(duì)空氣凈化器適用于多大空間等主要參數(shù)也應(yīng)明確標(biāo)識(shí),讓消費(fèi)者選購時(shí)能清楚明了。針對(duì)學(xué)校安裝空氣凈化裝置的問題,王宇指出在重污染天氣的情況下,安裝凈化裝置有利于學(xué)生的身體健康。其實(shí)不僅在人們的家庭,或者學(xué)校需要安裝空氣凈化裝置,對(duì)于高標(biāo)準(zhǔn)、高生產(chǎn)要求的制藥車間來說,凈化裝置更是不可缺少的。從人體角度來說,霧霾中的重金屬、粉塵等物資會(huì)隨著呼吸系統(tǒng)進(jìn)入人體內(nèi),會(huì)對(duì)身體器官造成一定的傷害,甚至還會(huì)引起肺病、哮喘、支氣管炎等,對(duì)于制藥車間的工作人員身體健康十分不利,而且霧霾籠罩下的粉塵等污染物也會(huì)影響車間內(nèi)制藥設(shè)備的潔凈度,對(duì)藥品安全造成很大的隱患。因此利用凈化設(shè)備提高車間的潔凈度,保證車間環(huán)境十分重要。據(jù)了解,過去我國多引進(jìn)國外的空氣凈化設(shè)備,近年來隨著我國凈化技術(shù)突飛猛進(jìn),國產(chǎn)的凈化設(shè)備已經(jīng)不亞于進(jìn)口設(shè)備技術(shù)。據(jù)相關(guān)數(shù)據(jù)顯示,2013年、2014年我國凈化器行業(yè)規(guī)模快速增長(zhǎng),2015年增速放緩;線上市場(chǎng)占比逐年提升,2016年線上空氣凈化器銷售占比預(yù)計(jì)可達(dá)60%。因此,在此大好的發(fā)展前景下,凈化設(shè)備生產(chǎn)企業(yè)迎來新的商機(jī)的同時(shí),也需對(duì)凈化設(shè)備的標(biāo)識(shí)、標(biāo)準(zhǔn)、質(zhì)量進(jìn)行嚴(yán)格把關(guān),達(dá)到國家相關(guān)的標(biāo)準(zhǔn),才能將生產(chǎn)出的設(shè)備流入市場(chǎng),以此保證人們生產(chǎn)、生活的安全。
全國24小時(shí)服務(wù)電話
0373-8727999
聯(lián)系郵箱
hnwtjh@163.com
聯(lián)系地址
河南省新鄉(xiāng)市長(zhǎng)垣縣樊相鎮(zhèn)創(chuàng)業(yè)大道8號(hào)
Copyright ? 2023 河南偉騰環(huán)境凈化科技有限公司 All Rights Reserved 備案號(hào):豫ICP備19012969號(hào)-1 [免責(zé)聲明]
国产精品久久久久久影视不卡,欧美久久人妻热次人妻,久久成人激情视频,亚洲av之男人的天堂网站,日韩va无码中文,亚洲成人日韩,国产91精品系列在线观看,本大道无码人妻精品专区,日韩人妻无码系列专区,久久综合伊人77777麻豆
欧美成人a在线| 国产成人AV免在线观看| 非洲黑人吊巨大VS亚洲女| 亚洲国产精品无码久久久秋霞1| 久久亚洲精品入口| 中文字幕久无码免费久久| 亚洲专区在线观看无码| 亚洲人成网站在线观看69影院| 少妇愉情理伦片丰满丰满午夜| 亚洲成AV人片在线观看WW| 特级毛片a级毛片高清视频| 欧美成人高清手机在线视频| 亚洲天堂视频在线播放| 日韩一区二区三区无码影院| 国产精品三级无码专区| 亚洲国产成人五月综合网| 永久免费男同av无码入口| 国产精品理论片在线观看| 精品久久久久久无码中文字幕漫画| 国产乱妇无码大片在线观看| 亚洲人成无码网WWW成人网| 日韩av片无码一区二区三区不卡| 97人妻人人做人碰人人爽| 国产揄拍视频在线观看| 亚洲欧美激情另类| 午夜毛片不卡免费观看视频| 久久精品无码一区二区三区| 国产成人精品无码一区二区| 亚洲成av人在线观看无堂无码| 成年免费a级毛片免费看| 亚洲欧美日韩中文字幕网址 | 久久精品国产国产精品四凭| 噜噜噜色噜噜噜久久| 公平和更好的亚洲AV成人无码网站天堂网久久 | 国产在线精品一区二区高清不卡| 精品福利在线播放| 一本色道久久88精品综合| 免费A级毛片在线播放不收费| 蜜臀aⅴ永久无码精品| 色老头永久免费网站| av超碰在线播放|